原位程序升温反应系统小+生+活+网是在标准样品台基础上搭建四电极反馈控温的加热模块,在扫描电镜中实 现样品的气氛、液氛环境及固体样品高分辨成像和精准、均匀、安全控温,温度精度优于±0.1k,z高温 度1000℃。通过精确的热场模拟及独特的芯片设计,实现无漂移加热过程,可在加热升温过程中实现实 时观测成像。样品台上的原位芯片采用特殊的组装和密封方式与电镜的真空阻隔,避免电镜受到污染和损 坏。
独特优势 :
1.超高分辨率
a.超薄氮化硅膜(25-50nm)
b.分辨率优于10nm 精确度、
2.灵敏度高
a.四电极形成反馈控制系统,控温准
b.观测区域全覆盖,升温快且均匀
3.稳定好
a.科学设计,漂移率最小化
b.样品台与芯片匹配良好,芯片不漂移
原位程序升温反应系统参数指标表:
样品台尺寸 | φ50×50mm |
温度范围 | rt~1000℃ |
适用样品 | 静态&流体气、液环境,固体 来源www.xbaixing.com |
气体压强 | 0-2000mbar |
分辨率 | 优于10nm |
窗口膜厚 | 25~50nm |
液体池厚度 | 200~2000nm小~生~活~网 |
温度精度 | ±0.1k |
加热均匀 | ≥99.5% |
加热电极数 | 4 |
安全 | 100%www.xbaixing.com小生活网 |
漂移率 | <0.5nm/min |
旋转角度 | ±180° |
适用电镜 | zeiss,fei,jeol,hitachi,others |
inlens/ebsd | √小生活网www.xbaixing.com |
eds/wds | √ |
应用领域 :
1.气体环境加热 :热催化、 水汽重整 、石油裂解 、煤制油 、合成氨
2.液体环境加热 :纳米催化剂合成、 温致反应过程 、溶剂热过程
3.固体直接加热 :ebsd原位分析 、金属材料 、石油地质岩石矿物、 化工高
分子材料 、新能源电池材料 、半导体
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